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前级泵的配置及抽速确定

主真空泵选定之后，贝克真空泵厂家价格，如何配置前级泵，需遵守的原则是：

① 求前级泵造成主真空泵工作所需的预真空条件；

② 抽走主真空泵产生的气体量；

③ 必须满足主真空泵进气口能工作的压力时所需的预抽时间要求。

不同的主真空泵，其前级泵配置各异，分述如下。

（1）蒸汽流泵前级配置

此类泵包括油扩散泵、油扩散喷射泵以及增扩泵等。在主泵允许的排气口压力下，前级泵需将主泵产生的气体量及时抽走，即前级泵的有效抽速必须满足：

Sq> pg .S/ pn或Qmax /pn

式中，Sq——前级泵的有效抽速，贝克真空泵厂家销售报价，L/s，贝克真空泵厂家，和选择高真空泵一样，先由Sq来确定前级泵的抽速，然后再根据该抽速选定泵型；

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按性能特点和用途分类

（1）低真空泵

泵的极限压力高于102Pa的真空泵属于低真空泵。常见的低真空泵有往复式真空泵、旋转式真空泵、液环式真空泵、喷射式真空泵以及吸附式真空泵。

（2）中真空泵

极限压力在102~-10-1Pa的真空泵属于中真空泵。常见的有罗茨真空泵、多级喷射式真空泵、多级旋转机械真空泵以及高速旋转式机械真空泵等。

（3）高真空泵

极限压力在10-1~10-5Pa的真空泵属于高真空泵。常见的高真空泵有各种扩散泵及分子泵等。

（4）超高真空泵

极限压力低于10-5Pa的真空泵属于超高真空泵。超高真空泵主要有各种离子泵、低温泵等。

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首先必须检查确定每一种工艺要求的真空度。因为每一种工艺都有其适应的真空度范围，必须认真研究确定之。

在确定了工艺要求的真空度的基础上检查真空泵系统的极限真空度，因为系统的极限真空度决定了系统的工作真空度。一般来讲，系统的极限真空度比系统的工作真空度低20%，比前级泵的极限真空度低50%。

检查确定工艺要求的抽气种类与抽气量。因为如果被抽气体种类与泵内液体发生反应，泵系统将被污染。同时必须考虑确定合适的排气时间与抽气过程中产生的气体量。

检查确定达到要求的真空度所需要的时间、真空管道的流阻与泄漏。考虑达到要求真空度后在一定工艺要求条件下维持真空需要的抽气速率。

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