普旭真空泵当使用敞开式气镇阀，并且温度适当时，旋片式真空泵能够抽吸的水燕汽可以达到各技术我格中所述的数值。载气襄可以使用工其打开。当该载气班敞开时，真空泵的嗓音水平将升离。在排放熟汽之前.好将泵先至少预热30分钟.并将吸人口关闭.将气镇阀打开。
普旭真空泵在停止及运行操作循环过程中.泵不许断开连接.并且其运行时必须将气镇阀打开，并将吸人口关闭(如果有可能.采用阀门拦截b一且燕汽已经从工艺过程中抽吸出来之后，(例如在终千操循环过程中)，就可以将气镇阀关闭.以增加终真空度。
说明仅当泵达到正确温度之后才可将凝缩性蒸汽通人泵内。如果当泵处于低温状态时从工艺过程中吸人气体，该气体将会发生凝缩。并流人油中。
普真空泵旭在可凝缩性燕汽含a很高的那些工艺中。吸人口必须静静地打开.并且仅可在泵达到正确沮度之后打开。
在普旭真空泵的运行过程中.油位上升说明燕汽发生凝缩作用，因为燕汽凝缩物已与油混和在一起。
衡A可凝缩性燕汽将改变油的特性，并从而导致腐蚀作用或者使泵的润滑作用降低。
因此，普旭真空泵如果已吸人燕汽，则在工艺处理过程结束之后不许将泵关闭.因为与油混和在一起的凝缩物将会造成变化或者腐蚀作用。
为了防止发生此类问题，好使泵保持运行状态.并将气镇阀打开.将吸人口关闭，道至油中没有混和物时为止。
我们建议在工艺处理过程已经完成之后.应使普旭真空泵在此状态下至少运行30分钟。
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而分子增压泵吸入压力高，减缓了前级泵的预抽负担。分子增压泵可以在100-50Pa工作，前级泵从大气到这一压力，基本遵从每经过时间压力降低一个数量级的规律，因此，机组可以具有很高的抽气效率。简化高真空机组，清远真空水泵叶片，取消罗茨泵是分子增压泵的又一个优势。对于较大型的高真空应用设备，也可适当加强前级泵的预抽能力，进一步缩短抽气时间，由于预抽时间与整个排气过程相比很短，所以前级泵的使用时间也很短，因此可以兼作多套设备的预抽作用，而这往往是非常现实的。这就使规模化应用的真空机组得到大大的简化。
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由于分子泵对水蒸气的抽速仅为同口径低温泵抽速的四分之一，所以分子泵的排气时间比低温泵长。为了提高抽速，国外在分子泵的入口侧装一个-130℃～-150℃的低温冷板，称之为低温分子泵，水蒸汽被低温板捕获，真空水泵叶片厂商，其他气体则由分子泵抽走。这种低温分子泵在真空镀膜装置上应用，既提高了生产效率又改善了膜层质量。随着我国半导体工业、薄膜产业和科学研究事业迅速发展，分子泵应该是我国真空泵制造业发展的重点。首先，分子泵要从小到大建立完整系列，并研究开发各种复合分子泵、牵引泵和低温分子泵，以满足不同场合的需要
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